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VRAbgeschlossen2024–2025

Global Foundries Escape Room

VR-Escape-Room: einen Silizium-Wafer durch den Reinraum bis zum fertigen Mikrochip begleiten.

Welche Prozesse laufen eigentlich im Reinraum einer Chipfabrik ab? Zur Beantwortung dieser Frage wurde gemeinsam mit GlobalFoundries eine Anwendung gestaltet, in der Schüler*innen an verschiedenen Maschinen einen virtuellen Silizium-Wafer auf seinem Weg zum Mikrochip begleiten können. Dabei wählen sie zum Beispiel Belichtungsmasken aus oder bearbeiten den Wafer mit verschiedenen Chemikalien.

VR-Szene an einer Belichtungsmaschine: Ein Bildschirm zur „Maskenauswahl“ zeigt die Optionen 22 nm, 40 nm und 55 nm, daneben eine Wafer-Kassette.
An den Maschinen treffen die Teilnehmenden eigene Entscheidungen – etwa bei der Wahl der passenden Belichtungsmaske.
VR-Szene: Blick in einen glühenden Diffusionsofen einer Chipfabrik, in dem der Wafer thermisch bearbeitet wird.
Schritt für Schritt durchläuft der Wafer die Prozesse des Reinraums – hier die thermische Bearbeitung im Diffusionsofen.
Auftraggeber